MEMS測試 - 懸臂梁
2014-09-23 瀏覽： 4368
微懸臂是最簡化但也是最多樣化的MEMS設備
微懸臂是許多設備和應用程序的基本結構元素
Inertial sensors 慣導器件
RF MEMS 射頻開關
Biomedical MEMS 生物微機系統
Energy Harvesting 能量回收系統
Molecule Detection 分子檢測
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MEMS懸臂梁:有限元驗證
MEMS懸臂梁的三維測試
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